椭圆偏振测厚仪

椭圆偏振测厚仪 型号： SGC-2 
产品简介  
可用于测量单层非金属的所有镀膜的厚度测量。测量范围：1nm～4000nm 包含主机一台，全部USB接口全自动测量。同时测量镀膜和折射率多种数据处理方法软件。(不包含计算机)  
详细介绍  
o仪器测量精度：在10nm处误差为±0.5nm；   
o光学中心高度：75㎜；   
o允许样品尺寸直径：Φ10~Φ120㎜，厚度≤10㎜；   
o外形尺寸：730 x230X 290；   
o主机重量：30kg；测量范围：1nm～4000nm；   
o测量Z小值：≤1nm；   
o镀膜折射率范围：1.3 ~ 2.49   
o入射角：40°～90°　　误差≤0.05°；   
o偏振器方位角范围：0°～180°；   
仪器测量精度：在10nm处误差为±0.5nm； 光学中心高度：75㎜；   
允许样品尺寸直径：Φ10~Φ120㎜，厚度≤10㎜；   
外形尺寸：730 x230X 290；   
主机重量：30kg；  
偏振器步进角：0.0375°/步；  


本仪器分为光源、接收器、主机、电子及通讯四部分，外观参看右图。  
1、　光源：采用波长为632.8nm的氦氖激光光源①其特点是：光强大、光谱纯、波长稳定性好。  
2、　接收器：采用光电倍增管⑤，把光讯号变为电讯号，经放大后输出至微机，由微机选择出消光位置的角度值。  
3、　主机部分：除以上两项外，还有起偏组件②，样品台③，检偏组件④。  
4、电子及通讯部分⑥：采集光强及对应的角度值并传输到计算机，再接收由计算机发出的指令逐步靠近消光点。