椭圆偏振测厚仪使用案例

椭圆偏振测厚仪使用案例

椭圆偏振测厚仪 型号：TPY-1

仪器介绍

TPY-1椭圆偏振测厚仪采用消光法手动调节，自动测量薄膜厚度和折射率，精度高、灵敏度高、方便测量。光源采用氦氖激光器，功率稳定、波长精度高。仪器软件具有生成表、查表以及精确计算等功能，方便用户使用。

规格参数

测量范围薄膜厚度范围：1nm-300nm；折射率范围：1-10

测量厚度小示值（nm）≤1

偏振器方位角范围0°- 180°读取分辨率为0.05°

测量膜厚精度（nm）±1

折射率重复性精度±0.01

入射角调节范围20°～90°精度为0.05°

入射光波长（nm）632.8

光学中心高（mm）80

允许样品尺寸（mm）φ10-φ140，厚度≤15

外形尺寸（mm）590*390*290

主机重量（kg）25